半導体ウェハ用薬液濃度測定
-
超高性能近赤外線液体成分濃度計（インライン型）
ケミカライザー Ace-3（高性能タイプ）ケミカライザーシリーズの最高峰です。
クラボウ技術の結晶です。 -
インライン近赤外線液体成分濃度計(標準タイプ)
ケミカライザー Pro2 （スタンダードタイプ）測定部とデータ処理部を一体化。性能はそのままに、コンパクト化を実現しました。
-
インライン近赤外線液体成分濃度計(標準タイプ)
ケミカライザー Pro2+ （スタンダードタイプ）ご使用機の置換えや既設設備への後付けに最適なモデルです。
-
インライン赤外線液体成分濃度計（ワゴン型）
ケミカライザーII各種処理工程の薬液濃度変化をオフラインで測定する場合に最適です。槽にチューブを挿入するだけで測定が可能です。
-
インライン多槽濃度測定・制御システム
ケミカライザー簡易ワゴン１台で多槽の濃度測定・制御が可能な濃度計システムです。複数槽を切り替えながら自動的に測定します。