一般産業用
一般産業用の
基板検査に役立つ機能
「豊富なカラー処理で
人間の目に代わる
高性能な基板検査」
画像処理が初めての人でも使いやすい操作性。
豊富な色数の検査設定で、シンプルな良否判定。
- 標準光学系と専用光学系から選択可能
- 自社開発光学系で拡散反射と鏡面反射を同時入力
- 高解像度ラインセンサ採用(W250mm：解像度16μm)
- ワークにあわせた搬送装置をラインナップ
- 透明異物、レジスト下異物、角度によって見えない欠陥が得意
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